Scroll Pump (대기압 - 1E-03 torr)

Scroll Pump

스크롤 펌프를 알아보자

원리

scroll
스크롤 펌프는 움직이는 스크롤 하나와 고정된 스크롤 하나가 진공을 만들어주는 펌프이다. 단어 그대로 두루마리가 말린 모양으로, 틈 사이로 공기가 빠져 나간다. 가운데에 배기구가 있고, 이 틈 사이로 공기를 내보낸다.

Scroll-pump “Scrolls are rolling”

조작과정

전원을 연결하고 Start 버튼을 누른다.

(진공을 깬 적 없으면 생략 가능) Gas Ballast On 상태에서 Wet air를 펌핑한다.

Scroll-pump’s-dial “Gas ballast on and off”

Gas Ballast On 상태로 펌핑하려면 다이얼이 9-11시 방향을 향하게 한다. 이 모드는 대기 중에 노출되었거나 수분이 많은 wet air를 펌핑할 때에 쓴다. 공기 중에 오래 노출되었다면 20분 이상 켜놓고 다음 단계로 넘어간다. On 상태로 다이얼을 돌리면 Gas ballast on 상태가 되면서 소리가 시끄럽게 바뀐다.

Gas Ballast Off 상태에서 Dry air를 펌핑한다.

dry air를 펌핑할 때에는 다이얼을 12시 방향으로 돌린다. On -> Off 상태로 바뀌면 소리가 조용해진다. 더 좋은 진공(낮은 압력)에 도달할 수 있다.

적당한 진공에 도달하면 터보 펌프를 켠다.

끌 때에는 Stop 버튼을 누른다.

참고

- Silencer

Silencer “Pfeiffer vacuum의 Silencer. DN25 NW25 사이즈를 쓴다.”
소리를 줄여주고, 스크롤과 tip seal이 마모되면서 생기는 철가루와 먼지를 걸러주는 역할을 한다. 매뉴얼에서는 9000 시간(=375일) 이상 사용하면 교체하는 것을 권장하고 있다.

- 진공이 안 빠져요

진공이 잘 안 뽑히면서 소리가 이상하면 tip seal을 교체한다. 설명서 상에서는 1-3년에 한 번 바꿔줘야 하는 것 같고, 교체할 때가 되면 소리가 이상하게 바뀐다고 한다. (교체 후 추가 예정)

- Stanby 모드

Stanby 버튼을 길게 누르면 펌프가 최대 속도보다는 천천히 돌면서 진공 뽑는 속도가 느려지는데 수명 관리에 더 좋다고 한다.